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噴金儀是什么？

在封閉腔室中，放置陽極靶材，充入氣體，保持一定的真空度，在陽極和陰極之間加載高壓，會(huì)發(fā)生輝光放電現(xiàn)象。電離的氣體離子會(huì)轟擊、侵蝕陽極靶材。靶材原子會(huì)因此向四周擴(kuò)散，并在樣品上沉積，終在樣品表面形成一個(gè)均勻的鍍層。這個(gè)鍍層可以抑制荷電，減小熱損傷，提高二次電子產(chǎn)率，從而改善掃描電鏡觀察效果。

平時(shí)使用時(shí)，常見的靶材是金靶。正是這個(gè)原因，離子濺射儀也俗稱“噴金儀”。

然而，為了獲得更細(xì)小的晶粒尺寸、更薄的連續(xù)鍍層，有時(shí)候也會(huì)使用其他靶材（比如鉻）。這些靶材對真空度的要求更高，需要額外配置分子泵方可達(dá)到要求。